多弧离子镀膜设备:我们在该镀膜设备的设计与加工方面已经成熟,已稳定在工具镀膜被覆处理多种超硬陶瓷薄膜包括氮化钛(Tin)、碳化钛(Tic)、氮碳化钛(TiCn)、氮化锆(Zrn)、氮化铬(Crn)、氮化铝钛(TiAln)等。经适当的薄膜加工后的工件,可以提高3至10倍的寿命。可以降低成本,提高生产效率,改善产品质量。广泛应用:工艺陶瓷,切削刀工具业:如硬质合金、钻头、铣刀等刃具。精密模具业:冲棒标准件模具、成型模具等。汽车工业:活塞、活塞环等易磨损零件。
型号:JTL-800 JTL-1000 JTL-1250
真空室尺寸:¢800×1000MM ¢1000×1000MM ¢1250×1100MM
镀膜方式及主要配置:
六个多弧源+一套圆柱靶+一套平面矩形磁控溅射靶
八个多弧源+一对孪生(中频)磁控溅射靶+一套平面矩形磁控溅射靶
十二个多弧源+一对孪生(中频)磁控溅射靶+两套平面矩形磁控溅射靶
镀膜方式及主要配置 :
电弧电源、直流磁控电源、中频磁控电源、灯丝电源、脉冲电源、线性离化源
工艺气体控制 质量流量计+电磁陶瓷阀
真空室结构:立式侧(单)开门结构,后置抽气系统,双层水冷
真空系统组成:分子泵+罗茨泵+机械泵(5.0×10-4PA)
工件烘烤温度:常温到500度可调可控(PID控温),辐射加热
工件运动方式:公自转变频调速,0~20转/分
测量方式:数显复合真空计:测量范围从大气至1.0×10-5PA
控制方式:手动/自动/PC/PLC+HMI/PC四种方式可选
备注:以上设备可按客户实际及特殊工艺要求设计订做